1、 最小切削厚度對表面粗糙度的影響
    除了機床本身的性能以外，使用刀具切削刃有效地切除工件材料時(shí)，最小切削厚度的可控性和重復性是影響加工精度的主要因素。MTC 不僅可以反映切削刃的納米級微觀(guān)結構，還可以反映出刀具和工件材料之間的相互作用狀態(tài)。
    2、振動(dòng)對表面粗糙度的影響
    盡管超精密車(chē)床具有很高的剛度，但振動(dòng)仍然是影響表面粗糙度的主要因素之一。超精密機床通常都有很高的固有頻率，在超精密加工過(guò)程中，實(shí)際的工藝系統是一個(gè)非常復雜的振動(dòng)系統，系統中的振動(dòng)使工件與刀具之間的相對位置發(fā)生了微幅變動(dòng)，最終使工件表面粗糙度增大、表面質(zhì)量降低。
    3 、金屬變形對表面粗糙度的影響
    金屬切削加工過(guò)程非常復雜，加工后形成的表面粗糙度/表面粗糙度儀與工件的材料、刀具的幾何形狀、潤滑方法以及選用的切削深度密切相關(guān)。剪切、滑移和斷裂被認為是影響切屑形成的幾個(gè)主要因素。
    4、刀具幾何形狀對表面粗糙度的影響
    在切削過(guò)程中，刀具幾何參數的不同組合形成不同的切削形態(tài)。直接影響切削過(guò)程的穩定性和表面質(zhì)量。理想狀態(tài)下，采用圓弧刃金剛石刀具進(jìn)行超精密車(chē)削加工軟金屬時(shí)，在工件加工表面形成輪廓峰和輪廓谷，它們之間的距離，被稱(chēng)為理論粗糙度，其大小等于f2/8R。

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